三氯化铁蚀刻铜原理

三氯化铁蚀刻铜原理：
1、三氯化铁浓度对蚀刻速度的影响
三氯化铁蚀刻液中随着三氯化铁浓度的增高，蚀刻速度加快。当所含三氯化铁超过某一浓度时，由于溶液黏度增加，蚀刻速度反而有所下降。
2、盐酸的添加量对蚀刻速度的影响
在蚀刻液中加入盐酸，一是可以抑制三氯化铁和氯化铜的水解；二是可提高蚀刻速度。特别是当蚀刻液中铜含量达到37.4g/L后，盐酸的作用更加明显。
3、温度对蚀刻速度的影响
在三氯化铁蚀刻工艺中，随温度的增加，蚀刻速度亦加快，比如当温度在50度时，全新蚀刻液对铜的蚀刻速度可达10um/min。但在实际生产中，都是采用常温蚀刻方法。三氯化铁对铜的蚀刻是一个放热反应，随着蚀刻的进行，蚀刻液温度会逐渐升高，蚀刻速度加快。随着三氯化铁的消耗，蚀刻速度下降。同时这一温升过程比较缓慢，所以在整个蚀刻过程中蚀刻速度变化不大。
4、搅拌对蚀刻速度的影响
静止蚀刻的速度和蚀刻质量都是比较差的。这是因为在蚀刻过程中，一方面被蚀刻铜表面和蚀刻液中都会有沉淀生成，影响了铜的正常蚀刻；另一方面，铜在蚀刻过程中，被蚀刻表面的溶液会逐渐呈现暗绿色，这表明在补被蚀刻表面的三氯化铁已跟铜表面发生了还原反应而失去了氧化能力。